數控機床幾何誤差和由溫度引起的誤差兩者共計約占機床總體誤差的的一半以上，其中幾何誤差相對穩定，易于進行誤差補償。普遍認為數控機床的幾何誤差由以下五個原因原因引起的。

1、熱變形誤差：由于機床的內部熱源和環境熱擾動導致機床的結構熱變形而產生的誤差。

2、機床的控制系統誤差：包括機床軸系的伺服誤差（輪廓跟隨誤差），數控插補算法誤差。

3、機床的原始制造誤差：是指由組成機床各部件工作表面的幾何形狀、表面質量、相互之間的位置誤差所引起的機床運動誤差，是數控機床幾何誤差產生的主要原因。

4、切削負荷造成工藝系統變形所導致的誤差：包括機床、刀具、工件和夾具變形所導致的誤差。這種誤差又稱為“讓刀”，它造成加工零件的形狀畸變，尤其當加工薄壁工件或使用細長刀具時，這一誤差更為嚴重。

5、機床的振動誤差：在切削加工時，數控機床由于工藝的柔性和工序的多變，其運行狀態有更大的可能性落入不穩定區域，從而激起強烈的顫振。導致加工工件的表面質量惡化和幾何形狀誤差。

數控機床的系統誤差是機床本身固有的誤差，具有可重復性。數控機床的幾何誤差是其主要組成部分，也具有可重復性。利用該特性，可對其進行“離線測量”，可采用“離線檢測——開環補償”的技術來加以修正和補償，使其減小，達到機床精度強化的目的。

隨機誤差具有隨機性，必須采用“在線檢測——閉環補償”的方法來消除隨機誤差對機床加工精度的影響，該方法對測量儀器、測量環境要求嚴格，所以難于推廣應用。所以在誤差處理的道路上還必須走更多的路，找到更好更適合的處理方法。

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